Plaque de carbure de silicium Rectifieuse double surface Solution

Modèle de machine : YHDM580B Rectifieuse à double disque - Méthode de meulage par cycle

Pièce : Plaque de carbure de silicium (SiC)

Exigence : 7.150 ± 0.002 mm, planéité/parallélisme < 0.01 mm, rugosité Ra < 0.9

Le carbure de silicium (SiC) est un matériau inorganique possédant des propriétés mécaniques, thermiques, électriques et chimiques, ce qui explique son utilisation fréquente dans les industries développées. Cependant, les propriétés avantageuses de la céramique SiC, telles que sa dureté élevée, sa résistance mécanique élevée, sa résistance à l'usure, son extrême fragilité et sa stabilité chimique, rendent son usinage difficile et coûteux, que ce soit par des méthodes conventionnelles ou non. La meule diamantée produit un MRR élevé sans affecter la morphologie ni la finition de surface. Lors de la rectification du SiC, les propriétés de la meule et de la pièce sont un facteur important pour prédire la rugosité de surface. Sur une rectifieuse à commande numérique par ordinateur, l'utilisation d'outils diamantés à liant métallique permet de réduire les dommages induits. L'hétérogénéité microstructurelle augmente significativement les vitesses de perçage et de rectification du SiC. L'augmentation de la ténacité à la fracture dynamique a permis d'obtenir un MRR élevé pour le SiC, avec un meilleur état de surface, lors d'une rectification à grande vitesse. Les méthodes de rectification utilisant des meules abrasives agglomérées permettent d'obtenir une faible rugosité de surface et une grande précision de forme sur des miroirs en SiC. La combinaison d'une vitesse élevée de la pièce et de la vitesse de la meule surélevée peut réduire la transformation de phase observée pendant le processus de rectification cylindrique à grande vitesse.